Механізми формування тонких плівок та покриттів, отриманих різними методами фізичного осадження

Автор(и): 
Леонід Робертович Шагінян
Рік видання: 
2017
ISBN: 
978-966-360-326-1
Мова: 
Англійська
Видавець: 
ВД "Академперіодика"
Місце: 
Київ
У фокусі книги — загальні механізми та базові фізичні фактори, які впливають на формування складу і структури плівок, отриманих різноманітними методами фізичного осадження - іонним та іонно-реакційним осадженням, різними модифікаціями магнетронного розпилення та лазерним випаровуванням. На ос­нові різноманітних досліджень широкого спектра плівкових матеріалів і покриттів (метали, напівпровідни­ки, діелектрики) автор показує, що форма плівкоутворювальних частинок (атоми, атомні кластери, молеку­ли), їхня енергія та енергія частинок, що бомбардують поверхню конденсації у процесі росту покриття, є універсальними факторами, які визначають склад та структуру плівки. Ці фактори визначені методом отри­мання плівки та залежать від фізико-технологічних параметрів процесу осадження. На багатьох прикладах автор демонструє: якщо потік плівкоутворювальних частинок — це суміш атомів та молекул та/або поверх­ня росту плівки підлягає неконтрольованому бомбардуванню енергетичних частинок, тоді отримання плів­ки з високоякісною кристалічною мікроструктурою і потрібним хімічним складом є проблематичним, а сам процес осадження слабко контрольованим. Повну керованість процесу осадження плівки можна забезпечи­ти у випадку гомогенності потоку плівкоутворювальних частинок одночасно з керуванням енергією части­нок, що разом із плівкоутворювальними надходять на поверхню росту плівки.
Матеріали, представлені у книзі, можуть бути корисними для технологів та вчених, тих, хто цікавить­ся проблемами технології та фізики плівок і покриттів. За допомогою викладеної інформації техноло­ги зможуть зробити правильний вибір методу отримання плівок із потрібними властивостями, а вчені зможуть передбачити властивості плівок залежно від методу їх отримання і вказати шляхи керування їхніми властивостями.