Іонно-плазмові багатошарові та багатокомпонентні покриття

DOI: https://doi.org/10.15407/akademperiodyka.549.174

У монографії наведено результати наукових досліджень та технологічних розробок у галузі модифікації поверхні шляхом формування іонно-плазмових покриттів. Показано, що при осадженні конденсатних плівок з іонно-плазмових потоків за нерівноважних умов у покриттях реалізуються нові структурні стани, які забезпечують високі механічні та термічні властивості композитів «підкладка-функціональне покриття». Наведено дані про формування іонно-плазмових покриттів різних складів, різної будови та архітектури, нова інформація про матеріалознавчі засади коригування фазового складу, структури, субструктури та напруженого стану покриттів для забезпечення їхніх унікальних функціональних властивостей. Розглянуто особливості застосування покриттів в різальних інструментах, зокрема оснащених полікристалічними надтвердими матеріалами на основі кубічного нітриду бору.

Література:

1. Достанко А.П., Залесский В.Г., Русецкий А.М. Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые. Минск: Бестпринт, 2009. 199 с.
2. Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва: Техносфера, 2010. 528 с.
3. Андреев А.А., Саблев В.П., Шулаев В.М., Григорьев С.Н. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. 278 с.
4. Аксенов И.И., Андреев А.А., Белоус В.А., Стрельницкий В.Е., Хороших В.М. Вакуумная дуга. Источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование. Киев: Наукова думка, 2012. 726 c.
5. Мацевитый В.М. Покрытия для режущих инструментов. Харьков: Вища школа, 1987. 127 с.
6. Верещака А.С. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями. Москва: Машиностроение, 1993. 336 с.
7. Береснев В.М., Погребняк А.Д., Азаренков Н.А., Кирик Г.В. Структура, свойства и получение твердых нанокристалли ческих покрытий, осаждаемых несколькими способами. Успехи физики металлов. 2007. Т. 8, № 3. С. 171—246. https://doi.org/10.15407/ufm.08.03.171

8. Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий. Успехи физических наук. 2009. Т. 179, № 1. С. 36—64. https://doi.org/10.3367/UFNe.0179.200901b.0035
9. Pogrebnjak A.D., Ivasishin O.M, Beresnev V.M. Arc-evaporated nanoscale multilayer nitride-based coatings for protection against wear, corrosion, and oxidation. Успехи физики металлов. 2016. Т. 17, № 1. C. 1—28. https://doi.org/10.15407/ufm.17.01.001
10. Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Москва: Техносфера, 2014. 256 c.
11. Kelly P.J., Arnell R.D. Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications. Vacuum. 2000. Vol. 56, No. 3. P. 159—172. https://doi.org/10.1016/S0042-207X(99)00189-X
12. Свадковский И.В. Направления развития магнетронных распылительных систем. Доклады Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники. 2007. № 2. С. 112—121.
13. Beresnev V.M., Torianyk I.M., Sobol’ O.V., Pogrebnyak A.D., Kropotov A.Yu., Stervoedov N.G., Nyemchenko U.S., Kolesnikov D.A., Klimenko S.A., Turbin P.V. A lNTiB2-TiSi2 coatings obtained by pulsed magnetron sputtering. Technical Physics. 2014. Vol. 59, No. 8. P. 1220—1223. https://doi.org/10.1134/S1063784214080052

14. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. Москва: Энергоатомиздат, 1989. 328 с.
15. Кузмичев А.И. Магнетронные распылительные системы: в 2 кн. Киев: Аверс, 2008. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. 244 с.
16. Sproul W.D. High-rate reactive DC magnetron sputtering of oxide and nitride supperlattice coatings. Vacuum. 1998. Vol. 51, No. 4. P. 641—646. https://doi.org/10.1016/S0042-207X(98)00265-6

17. Moore J.J., Sproul W.D., Mishra B., Rees J.A., Wu Z., Chistyakov R., Abraham B. Ion energy and mass distributions of the plasma during modulated pulse power magnetron sputtering. Cоatings Technology. 2009. Vol. 203, No. 24. P. 3676—3685. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2009.05.04

18. Никитин М.М. Магнетронное распыление: эволюция схем напыления. Физика и химия обработки материалов. 2011. № 2. С. 27—36.
19. Maksakova O.V., Pogrebnjak O.D., Beresnev V.M. Features of investigations of multilayer nitride coatings based on Cr and Zr. Успехи физики металлов. 2018. Т. 19, № 1. С. 25—48. https://doi.org/10.15407/ufm.19.01.025 

20. Valvoda V., Kuzel R., Ern R., M usil J. Structure of TiN coatings deposited at relatively high rates and low temperatures by magnetron sputtering. Thin Solid Films. 1988. Vol. 156, No. 1. P. 53—64. https://doi.org/10.1016/0040-6090(88)90282-9

21. Yao S.H., Su Y.L. The tribological potential of CrN and Cr(С,N) deposited by multiarc PVD process. Wear. 1997. Vol. 212, No. 1. Р. 85—94. https://doi.org/10.1016/S0043-1648(97)00128-2

22. Chen W., Lin Y., Zheng J., Zhang S., Liu S., Kwon S.‐C. Preparation and characte rization of CrAlN/TiAlSiN nano-multilayers by cathodic vacuum arc. Surface and Coatings Technology. 2015. Vol. 265. P. 205—211. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2015.01.023

23. Pogrebnjak A., Beresnev V. (eds). Nanocoatings. Nanosystems. Nanotechnologies. Sharjah: Bentham Science Publish ers, 2012. 155 p. https://doi.org/10.2174/97816080541691120101

24. Фареник В.И. Малоэнергоемкие устройства ионно-плазменных нанотехнологий. Труды научно-технической конференции. Харьков: ХНУ имени В.Н. Каразина, 2010. Ч. 2. С. 260—263.
25. Мазілін Б.О. Структура та механічні властивості комбінованих нанокомпозитних покриттів на основі керамічних матеріалів: дис. … докт. філософії: 105. Харків. 2021. 202 c.
26. Месяц Г.А. Эктоны в вакуумном дуговом разряде: пробой, искра, дуга. Москва: Наука, 2004. 424 с.
27. Аксёнов И.И., Белоус В.А., Падалка В.Г., Хороших В.М. Транспортировка плазменных потоков в криволинейной плазмооптической системе. Физика плазмы. 1978. Т. 4, № 4. С. 758—763.

28. Аксенов И.И., Аксенов Д.С., Васильев В.В., Лучанинов А.А., Омаров А.О., Стрельницкий В.Е. Формирование потоков вакуумно-дуговой плазмы источниками с широкоапертурным фильтром. Вісник Харківського нац. ун-ту. Сер.фіз. Ядра, частинки, поля. 2008. Т. 794, № 1. C. 3—20.

29. Аксенов Д.А., Аксенов И.И., Стрельницкий В.Е. Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами: обзор. Вопросы атомной науки и техники. 2007. Т. 90, № 2. С. 190—203.

30. Aksenov I.I., Khoroshikh V.M. Filtering shields in vacuum arc plasma sourses. In: Trends and New Application of Thin Films: Proc. of the 6th Int. Symp. Regensburg, 1998. Р. 283—286.
31. Aksenov I.I., Belous V.A., Vasil’ev V.V., Volkov Yu.Ya., Strel’nitskij V.E. A rectilinear plasma filtering system for vacuum-arc deposition of diamond-like carbon coatings. Diamond and Related Mater. 1999. Vol. 8. P. 468–471. https://doi.org/10.1016/S0925-9635(98)00402-6

32. Kleiman A., Marques A., Boxman R.L. Performance of a magnetic island macroparticle filter in a titanium vacuum arc. Plasma Sources Science and Technology. 2008. Vol. 17. P. 015008. https://doi.org/10.1088/0963-0252/17/1/015008
33. Патент РФ № 2011136514/02. Способ транспортировки с фильтрованием от макрочастиц вакуумно-дуговой катодной плазмы и устройство для его осуществления. Заявл. 0.1.09.2011; опубл. 10.03.2013. Бюл. № 7.
34. Патент України № 97584. Спосіб транспортування вакуумно-дугової катодної плазми із фільтруванням від макрочасток і пристрій для його здійснення. Заявл. 08.11.2010; опубл. 27.02.2012. Бюл. № 4.
35. Васильєв В.В. Структура та властивості покриттів Ti-N,Ti-Al-N, Ti-Al-Y-N, осад жених з високопродуктивного джерела фільтрованої вакуумно-дугової плазми. автореф. дис. … канд. техн. наук: 01.04.07. Харків, 2016. 22 с.
36. Vasylyev V.V., Luchaninov А.А., Strelnitsrij V Е. High-productive source of the cathodic vacuum-arc plasma with the rectilinear filter. Problems of Atomic Science and Technology. 2014. Т. 89, № 1. Р. 97—100.
37. Андреев А.А., Саблев Л.П., Григорьев С.Н. Вакуумно-дуговые покрытия. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. 317 с.
38. Pilletier J., Anders A. Plasma-based ion implantation and deposition: A review of physics, technology and applications. IEEE Transact. on Plasma Sci. 2005. Vol. 33, No. 6. P. 1944—1959. https://doi.org/10.1109/TPS.2005.860079
39. Perry A.J., Treglio J.R., Tian A.F. Low-temperature deposition of titanium nitride. Surface and Coatings Technology. 1995. Vol. 76–77. P. 815—820. https://doi.org/10.1016/0257-8972(95)02628-2
40. Beresnev V.M., Gritsenko V.I., Tolok V.T., Shvets O.M. Hight-freguency charged gas plasma activation of material surface in process of coating. In: Modification of Properties of Surface Layers MPSL: Proc. Int. Conf. Sumy, 1993. Р. 44—45.

41. Гриценко В.И., Береснев В.М., Швец О.М. Использован ие ВЧ разряда в методе вакуумно-дугового осаждения покрытий. Физическая инженерия поверхности. 2003. Т. 1, № 1. С. 37—44.

42. Береснев В.М., Швец О.М., Беляева Т.Н. Особенности ввода высокочастотной энергии в поток е плазмы. Физическая инженерия поверхности. 2005. Т. 3, № 1—2. С. 71—73.
43. Патент України № 2363. Устройство для нанесения покрытий в вакууме. Заявл. 11.05.90; опубл. 15.07.94. Бюл. № 13.
44. Швец О.М., Береснев В.М., Турби н П.В., Грудницкий В.В., Немченко У.С., Колесников Д.А. Применение импульсного ВЧ генератора с ударным контуром в методе вакуумно-дугового осаждения при синтезе наноструктурированных покрытий. Физическая инженерия поверхности. 2011 . Т. 9, № 1. С. 32—39.
45. Koehler J.S. Attempt to design a strong solid. Physics Review. B. 1970. Vol. 2. Р. 547—551. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.2.547
46. Holleck H., Schier V. Multilayer PVD coatings for wear protection. Surface and Coatings Technology. 1995. Vol. 76—77, No. 1. P. 328—336. https://doi.org/10.1016/0257-8972(95)02555-3
47. Руденко В.П., Столбовой В.А., Сердюк И.В., Картмазов К.Г. Система управления нанесением сверхтвердых нанослойных вакуумно-дуговых покрытий. Восточно-европейский журнал передовых технологий. 2010. Т. 6/1. С. 66—69.

48. Столбовой В.О. Фізико-технологічні основи формування багатошарових наноструктурних вакуумно-дугових покриттів на основі нітридів тугоплавких металів: дис. … докт. техн. наук: 05.03.01. Харків, 2021. 392 с.
49. Наноструктурные покрытия. Под ред. А. Кавалейро, Д. де Хоссона. Москва: Техносфера, 2011. 792 с.
50. Андриевский Р.А. Сверхтвердые наноструктурные материалы на основе тугоплавких соединений. Журнал функциональних материалов. 2007. T. 1, № 4. C. 129—133.
51. Азаренков Н.А. и др. Наноматериалы, нанопокрытия, нанотехнологии: уч. пособие. Харьков: ХНУ имени В.Н. Каразина, 2009. 209 с.
52. Musil J. Hard and superhard nanocomposite coatings. Surface and Coatings Technology. 2000. Vol. 125, No. 1—3. P. 322—330. https://doi.org/10.1016/S0257-8972(99)00586-1
53. Береснев В.М., Погребняк А.Д., Азаренков Н.А., Фареник В.И., Кирик Г.В. Нанокристаллические и нанокомпозитные покрытия, структура, свойства. Физическая инженерия поверхности. 2007. Т. 5, № 1—2. С. 4—28.

54. Береснев В.М., Соболь О.В., Колесников Д.А., Кирик Г.В., Muhammed A.K.M., Турбин П.В., Грудницкий В.В., Торяник И.Н., Немченко У.С. Физико-химические и механические свойства наноструктурных нитридных покрытий. Металлофизика и новейшие технологии. 2012. Т. 34, № 2. С. 137—158.

55. Beresnev V.M. et al. Structure and physical and mechanical properties of nanocomposite (Zr-Ti-Cr-Nb)N and (Ti-Zr-Al-Nb-Y)N coatings, obtained by vacuum-arc evaporation method. In: Nanocomposites, Nanophotonics, Nanobiotechnology and Applications. 2015. Vol. 156. Р. 75—84. https://doi.org/10.1007/978-3-319-06611-0_5

56. Азаренков Н.А., Береснев В.М., Погребняк А.Д., Колесников Д.А. Наноструктурные покрытия и наноматериалы. Основы получения, свойства, области применения. Москва: Либриком, 2013. 368 с.
57. Аксенов И.И. и др. Вакуумно-дуговые покрытия. Технология, материалы, структура, свойства. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2015. 379 с.

58. Sandu C S., Benkahoul М., Sanjines R., Levy F. Model for the evolution of Nb-Si-N thin films as a function of Si content relating the nanostructure to electrical and mechanical properties. Surface and Coatings Technology. 2006. Vol. 201, No. 6. P. 2897—2903. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.06.003
59. Sandu C.S., Sanjines R., Benkahoul M., Medjani F., Levy F. Formation of composite ternary nitride thin films by magnetron sputtering co-deposition. Surface and Coatings Technology. 2006. Vol. 201, No. 7. P. 4083-4089. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.08.100
60. Benkahoul M., Robin P., Gujrathi S.C., Martinu L., Klemberg-Sapieha J.E. Microstructure and mechanical properties of Cr-Si-N coatings prepared by pulsed reactive dual magnetron sputtering. Surface and Coatings Technology. 2008. Vol. 202, No. 16. P. 3975-3980. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2008.02.014

61. Veprek S., Veprek-Heijman M.J.G. Industrial applications of superhard nanocomposite coatings. Surface and Coatings Technology. 2008. Vol. 202, No. 21. P. 5063—5073. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2008.05.038

62. Barshilia H.C., Deepthi B., Arun Prabhu A.S., Rajam K.S. Superhard nanocomposite coatings of TiN/Si3N4 prepared by reactive direct current unbalanced magnetron sputtering. Surface and Coatings Technology. 2006. Vol. 201, No. 1—2. P. 329—337. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.11.124

63. Veprek S., Veprek-Heijman M.J.G., Karvankova Р., Prochazka J. Different approaches to superhard coatings and nanocomposites. Thin Solid Films. 2005. Vol. 476, No. 1. P. 1—29. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.10.053

64. Zhang C.H., Lu X.C., Wang H., Luo J.B., Shen Y.G., Li K.Y. Microstructure, mechanical properties, and oxidation resistance of nanocomposite Ti-Si-N coating. Applied Surface Science. 2006. Vol. 252, No. 18. P. 6141—6153. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2005.04.056 

65. Karankova P., Veprek-Heijman M.J.G., Zindulka O., Veprek S. Superhard nc-TiN/a-BN and nc-TiN/a-BN/a-TiB2 coatings prepared by plasma CVD and PVD: A comparative study of their properties. Surface and Coatings Technology. 2002. Vol. 163—164. P. 149—156. https://doi.org/10.1016/S0257-8972(02)00492-9

66. Li Z., Miyake S., Kumagai M., Saito H., Muramatsu Y. Structure and properties of Ti-Si-N films deposited by dc-magnetron cosputtering on positively biased substrates. Japanese Journal of Applied Physics. 2003. Vol. 42, No. 12R. P. 7510—7515. https://doi.org/10.1143/JJAP.42.7510

67. Zhang R.F., Veprek S. On the spinodal nature of the phase segregation and formation of stable nanostructure in the Ti-Si-N-system. Materials Science and Engineering: A. 2006. Vol. 424, No. 1—2. P. 128—137. https://doi.org/10.1016/j.msea.2006.03.017
68. Musil J., Baroch P., Vlček J., Nam K.H., Han J.G. Reactive magnetron sputtering of thin films: present status and trends. Thin Solid Films. 2005. Vol. 475, No. 1—2. 208—218. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.07.041
69. Sanjines R.M., Benkahoul M., Sandu C.S., Schmid P.E., Levy F. Relationship between the physical and structural properties of NbzSiyNx thin films deposited by dc reactive magnetron sputtering. Journal of Applied Physics. 2005. Vol. 98, No. 12. P. 123511. https://doi.org/10.1063/1.2149488

70. Veprek S. The search for novel, superhard materials. Journal of Vacuum Science and Technology. 1999. Vol. A17, No. 5. P. 2401—2420. https://doi.org/10.1116/1.581977

71. Gleiter H. Nanostructured materials: basic concepts and microstructure. Acta Materialia. Vol. 48, No. 1. P. 1—29. https://doi.org/10.1016/S1359-6454(99)00285-2
72. Zhang S., Wang H.L., Ong S.-E., Sun D., Bui X.L. Hard yet tough nanocomposite coatings — Present status and future trends. Plasma Processes and Polymers. 2007. Vol. 4, No. 3. P. 219—228. https://doi.org/10.1002/ppap.200600179

73. Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий. Вопросы атомной науки и техники. 2008. № 2. С. 119—130.

74. Veprek S., Reiprich S. A concept for the design of novel superhard coatings. Thin Solid Films. 1995. Vol. 268, No. 1—2. P. 64—71. https://doi.org/10.1016/0040-6090(95)06695-0

75. Veprek S., Argon A.S., Zhang R.F. Origin of the hardness enhancement in superhard nc-TiN/α-Si3N4 and ultrahard nc-TiN/α-Si3N4/TiSi2 nanocomposites. Philosophical Magazine Letters. 2007. Vol. 87, No. 12. Р. 955—966. https://doi.org/10.1080/09500830701666139

76. Азаренков Н.О., Неклюдов І.М., Береснєв В.М., Воєводін В.М., Погребняк О.Д., Ковтун Г.П., Соборль О.В., Удовицький В.Г., Литовченко С.В., Турбін П.В., Чишкала В.О. Наноматеріали і нанотехнології: навч. посібник. Харьков: ХНУ імені В.Н. Каразіна, 2014. 316 с.

77. Zeman H., Musil J., Zema n P. Physical and mechanical prope rties of sputtered Ti-Si-N films with a high (>40 aт. %) content of Si. Journal of Vacuum Science and Technology. 2004. Vol. A22(3). P. 646—664. https://doi.org/10.1116/1.1710499
78. Musil J. Properties of hard nanocompositie thin films. In: Nanocomposite Thin Films and Coatings: Processing, properties and Performance. London: Imperial College Press, 2007. P. 281—328. https://doi.org/10.1142/p502

79. Musil J., Zeman P. Hard amorphous a-Si3N4/MeNx nanocomposite coatings with high thermal stability and high oxidation resistance. Solid State Phenomena. 2007. Vol. 127. P. 31—36. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/SSP.127.31 
80. Musil J., Daniel R., Zeman P., Takai O. Structural and properties of magnetron sputtered Zr-Si-N. Thin Solid Films. 2005. Vol. 478, No. 1—2. P. 238–247. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.11.190

81. Musil J., Daniel R., Soldan J., Zeman P. Properties of reactively sputtered W-Si-N films. Surface and Coatings Technology. 2006. Vol. 200, No. 12—13. P. 3886—3895 . https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.12.004

82. Zeman P., Musil J., Daniel R. High-temperature oxidation resistance of Ta–Si–N films with a high Si content. Surface and Coatings Technology. 2006. Vol. 200, No. 12—13. P. 4091—4096. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.02.097
83. Азаренков Н.А., Береснев В.М., Погребняк А.Д. Структура и свойства защитных покрытий и модифицированных слоев материалов. Харьков: ХНУ имени В.Н. Каразина, 2007. 560 с.
84. Olowolafe J.O., Rau I., Unruh K.M., Swann C.P., Jawad Z.S., Alford T. Effect of composition on thermal stability and electrical resistivity of Ta–Si–N films. Thin Solid Films. 2000. Vol. 365, No. 1. P. 19-21. https://doi.org/10.1016/S0040-6090(99)01113-X

85. Musil J., Jirout M. Тoughness in nanostructured ceramic thin films. Surface and Coatings Technology. 2007. Vol. 201, No. 9—11. P. 5148-5152. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.07.020
86. Gretillat M.-A., Linder C., Dommann A., Staufert G., de Rooij N.F., Nicolet M.-A. Surface micromachined Ta-Si-N beams for use micromechanics. Journal of Micromechanics and Microengineering. 1998. Vo l. 8, No. 2. P. 88—90. https://doi.org/10.1088/0960-1317/8/2/011

87. Nah J.W., Choi W.S., Hwang S.K., Lee C.M. Chemical state of (Ta, Si)N reactivity sputtered coating on a high-speed steel substrate. Surface and Coatings Technology. 2000. Vol. 123, No. 1. P. 1—7. https://doi.org/10.1016/S0257-8972(99)00395-3
88. Park I.-W., Kang D.S., Moore J.J., Kwon S.C., Rha J.J., Kim K.H. Microstructures, mechanical properties, and tribological behaviors of Cr-Al-N, Cr-Si-N, and Cr-Al-Si-N coatings by a hybrid coating system Surface and Coatings Technology. 2007. Vol. 201, No. 9—11. P. 5223—5227. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.07.118

89. Veprek S., Reprich S., Li S.Z. Superhard nanocrystalline composite materials the SiN/Si3N4 system. Applied Physics Letters. 1995. Vol. 66, No. 20. P. 2640—2642. https://doi.org/10.1063/1.113110

90. Lasalmonie A., Strudel J.I. Influence of grain size on the mechanical behaviour of some high strength materials. Journal of Materials Science. 1986. Vol. 21. P. 1837—1852 https://doi.org/10.1007/BF00547918
91. Moulder J.F., Stickle W.F., Sobol P.E., Bomben K.D. Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy. Minnesota: Perkin-Elmer Corp., 1992. 259 p.

92. Pogrebnyak A.D., Sobol’ O.V., Beresnev V.M., Turbin P.V., Dub S.N., Kirik G.V., Dmitrenko A.E. Features of the structural state and mechanical properties of ZrN and Zr(Ti)-Si-N coatings obtained by ion-plasma deposition technique. Technical Physics Letters. 2009. Vol. 35, No. 10. P. 925—928. https://doi.org/10.1134/S1063785009100150

93. Beresnev V.M., Sobol’ O.V., Pogrebnjak A.D., Turbin P.V., Litovchenko S.V. Thermal stability of the phase composition, structure, and stressed state of ion-plasma condensates in the Zr-Ti-Si-N system. Technical Physics. 2010. Vol. 55, No. 6. P. 871—873. https://doi.org/10.1134/S1063784210060216

94. Погребняк А.Д. и др. Термическая стабильность, фазовый состав, напряженное состояние в сверхтвердых покрытиях Zr-Si-N, Zr-Si-N-Ti, осажденных ВАД-методом с ВЧ-разрядом. В кн.: Пленки и покрытия-2009: труды 9-й Международной конференции. Санкт-Петербург, 2009. С. 226—229.
95. Cоболь О.В., Погребняк А.Д., Береснев В.М. Влияние условий получения на фазовый состав, структуру и механические характеристики вакуумно-дуговых покрытий системы Zr-TI-Si-N. Физическая мезомеханика. 2011. Т. 14, № 4. С. 199—206.
96. Kiryukhantsev-Korneev F.V., Petrzhik M.I., Sheveiko A.N., Levashov E.A., Shtanskii D.V. Effect of Al, Si, and Cr on the thermal stability and high–temperature oxidation resistance of coatings based on titanium boronitride. The Physics of Metals and Metallography. 2007. Vol. 104. P. 167—174. https://doi.org/10.1134/S0031918X07080091
97. Shtansky D.V., Levashov E.A., Sheveiko A.N., Moore J.J. Optimization of PVD Parameters for the Deposition of Ultrahard Ti-Si-B-N Coatings. Journal of Materials Synthesis and Processing. 1999. Vol. 7, No. 3. P. 187—193. https://doi.org/10.1023/A:1021873314381

98. Shansky D.V., Sheveiko A.N., Petrzhik M.I., Kiryukhantsev-Korneev F.V., Levashov E.A., Leyland A., Yerokhin A.L., Matthews A. Hard tribological Ti-B-N, Ti-Cr-B-N, Ti-Si-B-N and Ti-Al-Si-B-N coatings. Surface and Coatings Technology. 2005. Vol. 200, No. 1—4. P. 208—212. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.02.126

99. Pogrebnyak A.D., Shpak A.P., Beresnev V.M., Kirik G.V., Kolesnikov D.A., Komarov F.F., Konarski P., Makhmudov N.A., Kaverin M.V., Grudnitskii V.V. Stoichiometry, phase composition, and properties of superhard nanostructured Ti–Hf–Si–N coatings obtained by deposition from high‑frequency vacuum-arc discharge. Technical Physics Letters. 2011. Vol. 37, No. 7. P. 636—640. https://doi.org/10.1134/S1063785011070145

100. Matsue T., Hanabusa T., Miki Y., Kusaka K., Maitani E. Residual stress in TiN film deposited by ion plating. Thin Solid Films. 1999. Vol. 343—344. P. 257—260. https://doi.org/10.1016/S0040-6090(98)01641-1

101. Береснeв В.М., Погребняк А.Д., Соболь О.В., Грудницкий В.В., Турбин П.В., Колесников Д.А., Толмачева Г.Н. Структура и свойства твердых покрытий (Ti-Zr-Si)N и (Ti-Hf-Si)N, полученных из потоков металлической плазмы. Физическая инженерия поверхности. 2010. Т. 8, № 2. С. 124—129

102. Grudnitskiy V.V., Beresnev V.M., Drobyshevskaya А.А., Turbin P.V., Toryanik I.N., Grankin S.S., Kolesnikov D.А., Nemchenko U.S. Elemental and phase analysis of nanocomposite coatings on basis Ti-Hf-Si-N system received by the vacuum-arc deposition method. Физическая инженерия поверхности. 2012. T. 10, № 3. C. 286—294.

103. Zel’tser I.A., Karabanov A.S., Moos E.N. Formation of dissipative structures in crystals during heat and electron transport. Physics of the Solid State. 2005. Vol. 47, No. 1—4. P. 1999—2004. https://doi.org/10.1134/1.2131135
104. Eмельянов В.И., Рухляда Н.Я. Дефектно-индуцированная неустойчивость и образование поверхностных структур с двумя масштабами при обработке поверхности плазмой. Наукоемкие технологии. 2009. Т. 10, № 6. С. 3—13.

105. Грудницький В.В. Структура та фізико-механічні властивості вакуумно-дугових нанокомпозитних покриттів системи Ti-Hf-N і Ti-Hf-Si-N: автореф. дис. … канд. техн. наук: 01.04.07. Харків, 2012. 20 с.
106. Major L., Morgiel J., Major B., Lackner J.M., Waldhauser W., Ebner R., Nistor L., Van Tendeloo G. Crystallographic aspects related to advanced tribological multilayers of Cr/CrN and Ti/TiN types produced by pulsed laser deposition (PLD). Surface and Coatings Technology. 2006. Vol. 200, No. 22—23. P. 6190—6195. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.11.021

107. Грудницкий В.В., Смолякова М.Ю., Немченко У.С., Береснев В.М., Погребняк А.Д., Соболь О.В., Колесников Д.А., Турбин П.В., Каверин M.В. Физико-механические и триботехнические свойства нанокомпозитных покрытий Zr-Ti-Si-N, Ti-Hf-Si-N. Вопросы атомной науки и техники. 2011. № 6. С. 179—183.
108. Beresnev V.M., Kaverin M.V., Makhmud A.M., Smolyakova M.Yu., Kolesnikov D.A., Kirik G.V., Komarov F.F., Grudnitskii V.V., Nemchenko U.S. Triboengineering properties of nanocomposite coatings Ti-Zr-Si-N deposited by ion plasma method. Journal of Friction and Wear. 2012. Vol. 33, No. 3. P. 167—173. https://doi.org/10.3103/S1068366612030026

109. Zhang R.F., Argon A.S., Veprek S. Electronic structure, stability, and mechanism of the decohesion and shear of interfaces in superhard nanocomposites and heterostructures. Physics Review B. 2009. Vol. B79. No. 24. P. 245426. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.79.245426

110. Pogrebnjak A.D., Beresnev V.M. Hard nanocomposite coatings, their structure and properties. In: Nanocomposites. New Trends and Developments. London: InTech, P. 123—160. https://doi.org/10.5772/50567
111. Pogrebnjak A., Baidak V., Beresnev V., Turbin P., Makhmudov N., Il’yashenko M., Kolesnikov D., Tashmetov M. Physical-Mechanical Properties of Superhard Nanocomposite Coatings on Base Zr-Ti-Si-N. Materials Science. 2013. Vol. 19, No. 2. P. 140—143. https://doi.org/10.5755/j01.ms.19.2.4429

112. Криони Н.К., Мигранов М.Ш., Шустер Л.Ш. Композиционные материалы с прогнозируемой адаптацией при трении и резании металлов. Вестник УГАТУ. 2009. Т. 12, № 2. С. 88—92.

113. Semenov A.P.Tribological properties of metals, metal-like compounds, and composite materials under high temperatures. Journal of Friction and Wear. 2007. Vol. 28, No. 4. P. 401—408. https://doi.org/10.3103/S1068366607040149
114. Мацевитый В.М., Казак И.Б., Вакуленко К.В. Физико-технические аспекты адгезии твердых тел. Киев: Наукова думка, 2010. 256 с.
115. Barshilia H.C., Rajam K.S. Deposition of TiN/CrN hard superlattices by reactive D.C. magne tron sputtering. Bulletin of Materials Science. 2003. Vol. 26. Р. 233—237. https://doi.org/10.1007/BF02707797

116. Pogrebnjak A.D., Eyidi D. , Abadias G., Bondar O.V., Beresnev V.M., Sobol O.V. Structure and properties of arc evaporated nanoscale TiN/MoN multilayered systems. International Journal of Refractory Metals and Hard Materials. 2015. Vol. 48. P. 222—228. https://doi.org/10.1016/j.ijrmhm.2014.07.043
117. Lehoczky S.L. Strength enhancement in thin-layered Al-Cu laminates. Journal of Applied Physics. 1978. Vol. 49. Р. 5479—5485. https://doi.org/10.1063/1.324518
118. Lee J.H., Kim W.M., Lee T.S., Chung M.K., Cheong B., Kim S.G. Mechanical and adhesion properties of Al/AlN multilayered thin films. Surface and Coatings Technology. Vol. 133—134. P. 220—226. https://doi.org/10.1016/S0257-8972(00)00937-3
119. Shih K K., Dove D.V. Ti/Ti-N, Hf/Hf-N and W/W-N multilayer films with high mechanical hardness. Applied Physics Letters. 1992. Vol. 61. P. 654—656. https://doi.org/10.1063/1.107812

120. Chu X., Wong M.S., Sproul W.D., Rohde S.L., Barnett S.A. Deposition and properties of polycrystalline TiN/NbN superlattice coatings. Journal of Vacuum Science and Technology A. 1992. Vol. 10, No. 4. P. 1604—1609. https://doi.org/10.1116/1.578030 

121. Musil J., Jankovcova H., Cibulka V. Formation of Ti1-xSix and Ti1-xSixN films by magnetron cosputtering. Czechoslovak Journal of Physics. 1999. Vol. 49. P. 359—372. https://doi.org/10.1023/A:1022853101763

122. Panjan M., Ŝturn S., Ĉekada M. The influence of rotation during sputtering on the stoichiometry of TiAlN/CrNx multilayer coating. Surface and Coatings Technology. 2008. Vol. 203. P. 554—557. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2008.04.082

123. Savisalo T., Lewis D.B., Luo Q., Bolton M., Hovsepian P. Structure of duplex CrN/NbN coatings and their performance against corrosion and wear. Surface and Coatings Technology. 2008. Vol. 203. P. 1661—1667. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2007.07.024
124. Barshilia H.C., Deepthi B., Rajam K.S. Growth and characterization of TiAlN/CrAlN superlattices prepared by reactive direct current magnetron sputtering. Journal of Vacuum Science and Technology A. 2009. Vol. 27, No. 1. P. 29—36. https://doi.org/10.1116/1.3013858

125. Panjan M., Čekada M., Panjan P., Zalar A., Peterman T. Sputtering simulation of multilayer coatings in industrial PVD system with three-fold rotation. Vacuum. 2008. Vol. 82. P 158—161. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2007.07.053
126. Munz W.D. Large-scale manufacturing of nanoscale multilayered hard coatings deposited by cat hodic arc/unbalanced magnetron sputtering. MRS Bulletin. 2003. Vol. 28. P. 173—179. https://doi.org/10.1557/mrs2003.58
127. Helmersson U., Todorova S., Barnett S.A., Sundgren J.‐E., Markert L.C., Greene J.E. Growth of single‐crystal TiN/VN strained‐layer superlattices with extremely high mechanical hardness. Journal of Applied Physics. 1987. Vol. 62. P. 481—484. https://doi.org/10.1063/1.339770

128. Yue J.L., Yin Y.S., Li G.Y. Microstructure, mechanical properties and thermal stability of TiAlN/Si3N4 nano-multilayer films deposited by reactive magnetron sputtering. Advanced Materials Research. 2009. Vol. 79—82. P. 489—492. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.79-82.489

129. Stueber M., Holleck H., Leiste H., Seemann K., Ulrich S., Ziebert C. Concepts for the design of advanced nanoscale PVD multilayer protective thin films. Journal of Alloys and Compounds. 2009. Vol. 483. P. 321—333. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2008.08.133
130. Raab R., Koller C.M., Kolozsvari S., Ramm J., Mayrhofer P.H. Thermal stability of arc evaporated Al-Cr-O and Al-Cr-O/Al-Cr-N multilayer coatings. Surface and Coatings Technology. 2018. Vol. 352. P. 213—221. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat. 2018.08.002

131. Yashar P.C., Sproul W.D. Nanometer scale multilayered hard coatings. Vacuum. 1999. Vol. 55, No. 3—4. P. 179—190. https://doi.org/10.1016/S0042-207X(99)00148-7
132. Abadias G., Michel A., Tromas C., Jaouen C., Dub S.N. Stress, interfacial effects and mechanical properties of nanoscale multilayered coatings. Surface and Coatings Technology. 2007. Vol. 202. P. 844—853. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2007.05.068
133. Stueber M., Holleck H., Leiste H., Seemann K., Ulrich S., Ziebert C. Concept for the design of advanced nanoscale PVD multilayer protective thin films. Journal of Alloys and Compounds. 2009. Vol. 483. P. 321—354. https://doi.org/10.1016/j.jallcom. 2008.08.133
134. Bondar O.V. et al. Structure and mechanical properties of multilayered nanostructured TiN/ZrN ion-plasma coatings. In: Nanomaterials: Application and Properties: Рroc. Int. Conf. 2015. Vol. 4, No. 1. 01NTF12.

135. Bondar O.V., Beresnev V.M., Kravchenko Ya.O., Koltunowicz T.N. Nanoscale TiN/ZrN Multilayered Coatings, Their Structure and Properties. In: Nanomaterials: Application and Properties: Рroc. Int. Conf. 2016. Vol. 5. No. 1. 01NTF07.
136. Pogrebnjak A., Ivashchenko V., Bondar O., Beresnev V., Sobol O., Załęski K., Jurga S., Coy E., Konarski P., Postolnyi B. Multilayered vacuum-arc nanocomposite TiN/ZrN coatings before and after annealing: Structure, properties, firstprinciples calculations. Materials Characterization. 2017. Vol. 134. P. 55—63. https://doi.org/ 10.1016/j.matchar.2017.10.016
137. Куприн A.С., Белоус В.А., Воеводин В.Н., Брык В.В., Василенко Р.Л., Овчаренко В.Д., Толмачёва Г.Н., Вьюгов П.Н. Высокотемпературное окисление на воздухе оболочек из циркониевых сплавов 110 и Zr-1Nb с покрытиями. Bопросы атомной науки и техники. 2014. № 1. С. 126—131.
138. Стоев П.И., Белоус В.А., Воеводин В.Н., Куприн А.С., Леонов С.А., Овчаренко В.Д., Тихоновский М.А., Хороших В.М. Механические свойства и акустические параметры твэльных труб из сплава циркония Zr1%Nb с защитными покрытиями. Вопросы атомной науки и техники. 2015. № 5. C. 87—97.
139. Соболь O.В., Андреев А.О., Горбань В.Ф., Столбовой В.О., Пинчук Н.В., Мейлехов А.О. Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением. Вопросы атомной науки и техники. 2015. № 2. С. 124—128.
140. Cenzel C., Reinmers W. A study of X-ray residual stress gradient analysis in thin layers with strong fibre texture. Physica Status Solidi A. 1998. Vol. 166, No. 2. P. 751—762 https://doi.org/10.1002/(SICI)1521-396X(199802)165:2<347::AID-PSSA347>3.0.CO;2-K
141. Гранкин С.С., Столбовой В.А., Немченко У.С., Береснев В.М., Соболь О.В., Литовченко С.В., Турбин П.В., Новиков В.Ю., Проценко З.Н. Трибологические характеристики и механические свойства многослойных вакуумно-дуговых покрытий TiN/ZrN. Вопросы атомной науки и техники. 2015. № 5. С. 70—76.
142. Соболь О.В., Андреев А.О., Столбовий В.А., Горбань В.Ф., Пінчук Н.В., Мейлехов А.О. Структурная инженерия многослойной системы TiN/CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением. Журнал нано- та електронної фізики. 2015. T. 7, № 1. C. 01034.
143. Sobol O.V., Andreev A.A., Gorban V.F., Stolbovoy V.A., Meylekhov A.A., Postelnyk A.A., Dolomanov A.V. Influence of pressure of working atmosphere on the formation of phase-structural state and physical and mechanical properties of vacuum-arc-multilayer coating ZrN/CrN. Вопросы атомной науки и техники. 2016. № 1. С. 134—139.

144. Sobol O.V., Andreev A.A., Gorban V.F., Stolbovoy V.A., Melekhov A.A., Postelnyk A.A. Possibilities of structural engineering in multilayer vacuum-arc ZrN/CrN coatings by varying the nanolayer thickness and application of a bias potential. Technical Physics. 2016. Vol. 61, No. 7. P. 1060—1063. https://doi.org/10.1134/S1063784216070252

145. Maksakova O.V., Simoẽs S., Pogrebnjak A.D., Bondar O.V., Kravchenko Ya.O., Koltunowicz T.N., Shaimardanov Zh.K. Multilayered ZrN/CrN coatings with enhanced thermal and mechanical properties. Journal of Alloys and Compounds. 2019. Vol. 776. P. 679—690. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2018.10.342

146. Maksakova O.V., Pogrebnjak A.D., Yerbolatova G., Beresnev V.M., Kupchishin A.I., Baymoldanova L.S. Triple sandwich design of multilayered (CrN/ZrN)/(Cr/Zr) hard coating with nanoscale architecture: microstructure and composition. Materials Research Express. 2019. Vol. 6, No. 10. P. 106438—106450. https://doi.org/10.1088/2053-1591/ab4018

147. Zhang J.J., Wang M.X., Yang J., Liu Q.X., Li D.J. Enhancing mechanical and tribological performance of multilayered CrN/ZrN coatings. Surface and Coatings Technology. 2007. Vol. 201. P. 5186—5189. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.07.093

148. Kim M.-K., Kim G.-S., Le S.-Y. Synthesis and characterization of multilayer CrN/ZrN coatings. Metals and Materials International. 2008. Vol. 14. P. 465—470. https://doi.org/10.3365/met.mat.2008.08.465

149. Li D.J., Liu F., Wang M.X., Zhang J.J., Liu Q.X., Structural and mechanical properties of multilayered gradient CrN/ZrN coatings. Thin Solid Films. 2006. Vol. 506—507. P. 202—206. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2005.08.031
150. Wang M.X., Zhang J.J., Liu Q.X., Li D.J. Magnetron sputtering deposition of polycrystalline CrN/ZrN superlattice coatings. Surface Review and Letters. 2006. Vol. 13. P. 173—178. https://doi.org/10.1142/S0218625X06008177
151. Pradhan S.K., Nouveau C., Vasin A., Djouadi M.-A. Deposition of CrN coatings by PVD methods for mechanical application. Surface and Coatings Technology. 2005. Vol. 200, No. 1—4. P. 141—145. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.02.038
152. Hwang H.-K. Shin D.-H., Kim S.-J. Effect of PVD deposition method on indentation and friction wear characteristics with hydrogen embrittlement of CrN coated stainless steel for electric vehicle hydrogen valves. Surfaces and Interfaces. 2024. Vol. 48. Р. 104281. https://doi.org/10.1016/j.surfin.2024.104281

153. Beresnev V.M., Sobol O.V., Pogrebnjak A.D., Grankin S.S., Stolbovoi V.A., Turbin P.V., Meilekhov A.A., Arseenko M.Yu. Structure engineering in vacuum-arcdeposited coatings of the MoN–CrN system. Technical Physics Letters. 2016. Vol. 42, No. 5. P. 532—535. https://doi.org/10.1134/S1063785016050205
154. Postolnyi B.O., Beresnev V.M., Abadias G., Bondar O.V., Rebouta L., Araujo J.P., Pogrebnjak A.D. Multilayer design of CrN/MoN protective coatings for enhanced hardness and toughness. Journal of Alloys and Compounds. 2017. Vol. 725. P. 1188—1198. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2017.07.010
155. Гранкин С.С., Береснев В.М., Соболь О.В., Литовченко С.В., Столбовой В.А., Колесников Д.А., Мейлехов А.А., Постельник А.А., Торяник И.Н. Влияние высоковольтного постоянного потенциала смещения на структуру и свойства многослойного композиционного материала MoN/CrN с разной толщиной слоев. Вопросы атомной науки и техники. 2016. № 1. С. 154—159.

156. Столбовой В.А. Влияние толщины периода многослойного покрытия MoN/CrN на физико-механические характеристики. Журнал фізики та інженерії поверхні. 2016. Т. 1, № 3. С. 320—328.
157. Beresnev V.M., Klimenko S.A., Sobol’ O.V., Grankin S.S., Stolbovoi V.A., Turbin P.V., Novikov V.Yu., Meilekhov A.A., Litovchenko S.V., Malikova L.V. Effect of the deposition parameters on the phase–structure state, hardness, and tribological charac-teristics of Mo2N/CrN vacuum–arc multilayer coatings. Journal of Superhard Materials. 2016. Vol. 38, No. 2. P. 114—122. https://doi.org/10.3103/S1063457616020052
158. Pogrebnjak A.D., Beresnev V.M., Bondar O.V., Abadias G., Chartier P., Postolnyi B.A., Andreev A.A., Sobol O.V. The effect of nanolayer thickness on the structure and properties of multilayer TiN/MoN coatings. Technical Physics Letters. 2014. Vol. 40, No. 3. P. 215—218. https://doi.org/10.1134/S1063785014030092

159. Pogrebnjak A.D., Abadias G, Bondar O.V., Postolnyi B.O., Lisovenko М.О., Kyrychenko O.V., Andreev A.A., Beresnev V.M., Kolesnikov D.A., Opielak M. Structure and properties of multilayer nanostructured coatings TiN/MoN depending on deposition conditions. Acta Physica Polonica A. 2014. Vol. 125, No. 6. P. 1280—1283. https://doi.org/10.12693/APhysPolA.125.1280 
160. Kazdaev K.R., Abylkalykova R.B., Kveglis L.I. Regularities of formation of the ordered structures in molybdenum at ion implantatio. Journal of Siberian Federal University. Engineering and Technologies. 2012. No. 5. P. 560—567.

161. Gusev A.I., Rempel A.A., Magerl A.J. Disorder and Order in Strongly Nonstoichiometric Compounds: Transition Metal Carbides, Nitrides and Oxides. N.-Y.: Springer, 2001. 608 p. https://doi.org/10.1007/978-3-662-04582-4

162. Machon D., Daisenberger D., Soignard E., Shen G., Kawashima T., Takayama-Muromachi E., McMillan P.F. High pressure-high temperature studies and reactivity of γ-Mo2N and δ-MoN. Physics Status Solidi A. 2006. Vol. 203, No. 5. P. 831-816. https://doi.org/10.1002/pssa.200521008

163. Yen H.W., Huang C.Y., Yang J.P. Characterization of interphase-precipitated nanometersized in a Ti–Mo-bearing steel. Science Materials. 2009. Vol. 61. P. 616—619. https://doi.org/10.1016/j.scriptamat.2009.05.036

164. Jones A.С. Hitchman M.L. Chemical Vapour Deposition: Precursors, Processes, and Applications. Cambridge: RSC Publishing, 2009. 419 p. https://doi.org/10.1039/9781847558794
165. Dub S.N., Novikov N.V. Testing of solids for nanohardness. Journal of Superhard Materials. 2004. Vol. 26. No. 6. P. 16—33.

166. Pogrebnjak A.D. Structure and properties of nanostructured (Ti–Hf–Zr–V–Nb)N coatings. Journal of Nanomaterials. 2013. Vol. 2013. Article ID 780125. https://doi.org/10.1155/2013/780125

167. Beresnev V.M., Bondar O.V., Postolnyi B.O., Lisovenko M.O., Abadias G., Chartier P., Kolesnikov D.A., Borisyuk V.N., Mukushev B.A., Zhollybekov B.R., Andreev A.A. Comparison of Tribological Characteristics of Nanostructured TiN, MoN, and TiN/MoN Arc-PVD Coatings. Journal of Friction and Wear. 2014. Vol. 35, No. 5. P. 374—382. https://doi.org/10.3103/S1068366614050031

168. Соболь О.В. и др. Структурная инженерия многопериодных покрытий нитридов переходных металлов. В кн.: Высокочистые материалы: получение, применения, свойства: матер. докл. 3-й Межд. конф. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2015. С. 47.

169. Sobol O.V., Meylekhov A.A., Stolbovoy V.A., Postelnyk A.A. Structural Engineering Multiperiod Coating ZrN/MoN. Journal of Nano- and Electronic Physics. 2016. Vol. 8, No. 3. P. 03039. https://doi.org/10.21272/jnep.8(3).03039

170. Sobol’ O.V., Meylekhov A.A., Bochulia T.V., Stolbovoy V.A., Gorban V.F., Postelnyk А.А., Shevchenko S.M., Yanchev A.V. А computer simulation of radiationinduced structural changes and properties of multiperiod ZrNx /MoNx system. Journal of Nano- and Electronic Physics. 2017. Vol. 9, No. 2. Р. 02031. https://doi.org/10.21272/jnep.9(2).02031
171. Соболь О.В. и др. Вакуумно-дуговые многослойные покрытия на основе переходных металлов. В кн.: New leading technologies in machine building: Proc. XXV Int. Conf. Koblevo—Kharkov, 2015.

172. Beresnev V.M. , Lytovchenko S.V., Maksakova O.V., Pogrebnjak A.D., Horokh D.V., Shvets U.S. Microstructure and high-hardness effect in TiSiN/NbN nanomultilayers: experimental research. In: Nanomaterials: Applications & Properties 2021: Proc. IEEE 11th Int.Conf. Odesa, 2021. https://doi.org/10. 1109/NAP51885.2021.9568502

173. Anderson P.M., Li. C. Hall-Petch relations for multilayered materials. Nanostructured Materials. 1995. Vol. 5, No. 3. P. 349—362. https://doi.org/10.1016/0965-9773(95)00250-I

174. Yan H., Tian Q., Gao D., Yang F. Microstructure and properties of TiAlN/AlN multilayers with different modulation periods. Surface and Coatings Technology. 2019. Vol. 363. P. 61—65. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.01.064
175. Maksakova O.V., Webster R.F., Tilley R.D., Ivashchenko V.I., Postolnyi B.O., Bondar O.V., Takeda Y., Rogoz V.M., Sakenova R.E., Zukowski P.V., Opielak M., Beresnev V.M., Pogrebnjak A.D. Nanoscale architecture of (CrN/ZrN)/(Cr/Zr) nanocomposite coatings: microstructure, composition, mechanical properties and firstprinciples calculations. Journal of Alloys and Compounds. 2020. Vol. 831. P. 154808. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2020.154808
176. Maksakova O.V., Zhanyssov S., Plotnikov S.V., Konarski P., Budzynski P., Pogrebnjak A.D., Beresnev V.M., Mazilin B.O., Makhmudov N.A., Kupchishin A.I., Kravchenko Ya.O. Microstructure and tribomechanical properties of multilayer TiZrN/TiSiN composite coatings with nanoscale architecture by cathodicarc evaporation. Journal of Materials Science. 2021. Vol. 56. P. 5067—5081. https://doi.org/10.1007/s10853-020-05606-2

177. Lytovchenko S.V., Mazilin B.А., Beresnev V.M., Stolbovoy V.А., Kovalyova M.G., Kritsyna Е.V., Kolodiy I.V., Glukhov О.V., Malikov L.V. (TiZr)N/(TiSi)N maitilayer nanostructured coatings obtained by vacuum arc deposition. Journal of Nano- and Electronic Physics. 2018. Vol. 10, No. 5. Р. 05041. https://doi.org/10.21272/jnep.10(5).05041

178. Beresnev V.M., Lytovchenko S.V., Horokh D.V., Mazilin B.O., Stolbovoy V.A., Kolodiy I.N., Kolesnikov D.A., Grudnitsky V.V., Srebniuk P.A., Glukhov О.V. Tribotechnical properties of (TiZr)N/(TiSi)N multilayer coatings with nanometer thickness. Journal of Nano- and Electronic Physics. 2019. Vol. 11, No. 5. Р. 05037. https://doi.org/10.21272/jnep.11(5).05037
179. Beresnev V.M., Lytovchenko S.V., Mazilin B.O., Horokh D.V., Stolbovoy V.А., Kolesnikov D.А., Kolodiy I.V., Zhanyssov S. Adhesion strength of TiZrN/TiSiN nanocomposite coatings on a steel substrate with transition layer. Journal of Nanoand Electronic Physics. 2020. Vol. 12, No. 4. Р. 04030. https://doi.org/10.21272/jnep.12(4).04030 

180. Żukowski P., Kołtunowicz T., Partyka J., Fedotova Yu.A., Larkin A.V. Electrical properties of nanostructures (CoFeZr)x + (Al2O3)1 – x with use of alternating current. Vacuum. 2009. Vol. 83. P. S275—S279. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2009.01.081

181. Koltunowicz T.N., Zhukowski P., Fedotov A.K., Larkin A.V., Patryn A., Andryevskyy B., Saad A., Fedotova J.A., Fedotova V.V. Influence of matrix type on negative capacitance effect in nanogranular composite films FeCoZr-insulator. Elektronika Ir Elektrotechnika. 2013. Vol. 19, No. 4. P. 37—40. https://doi.org/10.5755/j01.eee.19.4.1693
182. Engberg D.L.J. Atom Probe Tomography of TiSiN Thin Films. Linkoping: Linkoping University Electronic Press, 2015. 41 р. https://doi.org/10.3384/lic.diva-122724
183. Kravchenko Y.O., Coy L.E., Peplińska B., Iatsunskyi I., Załęski K., Kempiǹski M., Beresnev V.M., Konarski P., Jurga S., Pogrebnjak A.D. Nano-multilayered coatings of (TiAlSiY)N/MeN (Me = Mo, Cr and Zr): Influence of composition of the alternating layer on their structural and mechanical properties. Journal of Alloys and Compounds. 2018. Vol. 767. P. 483—495. https://doi.org/10.1016/j.jallcom. 2018.07.090

184. Pshyk A.V., Kravchenko Ya., Coy E., Kempiński M., Iatsunskyi I., Załęski K ., Pogrebnjak A.D., Jurga S. Microstructure, phase composition and mechanical properties of novel nanocomposite (TiAlSiY)N and nano-scale (TiAlSiY)N/MoN multifunctional heterostructures. Surface and Coatings Technology. 2018. Vol. 350. P. 376—390. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.07.010

185. Bhowmick S., Kale A.N., Jayaram V., Biswas S.K. Contact damage in TiN coatings on steel. Thin Solid Films. 2003. Vol. 436, No. 2. P. 250—258. https://doi.org/10.1016/S0040-6090(03)00598-4

186. Leyland A., Matthews A. On the significance of the H/E ratio in wear control: a nanocomposite coating approach to optimised tribological behaviour. Wear. 2000. Vol. 246, No. 1—2. P. 1—11. https://doi.org/10.1016/S0043-1648(00)00488-9

187. PalDey S., Deevi S.C. Single layer and multilayer wear resistant coatings of (Ti,Al)N: a review. Materials Science and Engineering: A. 2003. Vol. 342, No. 1—2. P. 58—79. https://doi.org/10.1016/S0921-5093(02)00259-9

188. Knutsson A., Johansson M.P., Persson P.O.A., Hultman L., Oden M. Thermal decomposition products in arc evaporated TiAlN/TiN multilayers. Applied Physics Letters. 2008. Vol. 93. P. 044312. https://doi.org/10.1063/1.2998588

189. Ibrahim R.N., Rahmat M.A., Oskouei R.H., Singh Raman R.K. Monolayer TiAlN and multilayer TiAlN/CrN PVD coatings as surface modifiers to mitigate fretting fatigue of AISI P20 steel. Engineering Fracture Mechanics. 2015. Vol. 137. P. 64—78. https://doi.org/10.1016/j.engfracmech.2015.01.009

190. Xu Y.X., Chen L., Pei F., Chang K.K., Du Y. Effect of the modulation ratio on the interface structure of TiAlN/TiN and TiAlN/ZrN multilayers: First-principles and experimental investigations. Acta Materials. 2017. Vol. 130. P. 281—288. https://doi.org/10.1016/j.actamat.2017.03.053
191. Hock M., Schaffer E., Doll W., Kleer G. Composite coating materials for the moulding of diffractive and refractive optical components of inorganic glasses. Surface and Coatings Technology. 2003. Vol. 163—164. P. 689-694. https://doi.org/10.1016/S0257-8972(02)00658-8
192. Barshilia H., Deepthi B., Rajam K.S. Deposition and characterization of TiAlN/Si3N4 superhard nanocomposite coatings prepared by reactive direct current unbalanced magnetron sputtering. Vacuum. 2006. Vol. 81. P. 479—488. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2006.07.003

193. Barshilia H.C., Ghosh M., Shashidhara, Ramakrishna R., Rajam K.S. Deposition and characterization of TiAlSiN nanocomposite coatings prepared by reactive pulsed direct current unbalanced magnetron sputtering. Applied Surface Science. 2010. Vol. 256. P. 6420—6426. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2010.04.028

194. Carvalho S., Ribeiro E., Rebouta L., Pacaud J., Goudeau Ph., Renault P.O., Riviere J.P., Tavares C.J. PVD grown (Ti,Si,Al)N nanocomposite coatings and (Ti,Al)N/(Ti,Si)N multilayers: structural and mechanical properties. Surface and Coatings Technology. 2003. Vol. 172. P. 109—116. https://doi.org/10.1016/S0257-8972(03)00323-2
195. Vennemann A., Stock H.-R., Kohlscheen J., Rambadt S., Erkens G. Oxidation resistance of titanium-aluminium-silicon nitride coatings. Surface and Coatings Technology. 2003. Vol. 175. P. 408—415. https://doi.org/10.1016/S0257-8972(03)00407-9
196. Veprek S., Mannling H.D., Jilek M., Holubar P. Avoiding the high-temperature decomposition and softening of (Al1−xTix)N coatings by the formation of stable superhard nc-(Al1 − xTix)N/a-Si3N4 nanocomposite. Materials Science Engineering. 2004. Vol. 366. P. 202—205. https://doi.org/10.1016/j.msea.2003.08.052
197. Wang S.Q., Chen L., Yang B., Chang K.K., Du Y., Li J., Gang T. Effect of Si addition on microstructure and mechanical properties of Ti-Al-N coating. International Journal of Refractory Metals and Hard Materials. 2010. Vol. 28. P. 593—596. https://doi.org/10.1016/j.ijrmhm.2010.05.001

198. Pfluger E., Schroer A., Voumard P., Donohue L., Munz W.-D. Influence of in corporation of Cr and Yon the wear performance of TiAlN coatings at elevated temperatures. Surface and Coatings Technology. 1999. Vol. 115. P. 17-23. https://doi.org/10.1016/S0257-8972(99)00059-6
199. Moria T., Noborisakaa M., Watanabeb T., Suzukia T. Oxidation resistance and hardness of TiAlSiN/CrAlYN multilayer films deposited by the arc ion plating method. Surface and Coatings Technology. 2012. Vol. 213. P. 216—220. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.10.050
200. Ichimura H., Kawana A. High temperature oxidation of ion-plated CrN films. Journal of Materials Research. 1994. Vol. 9. P. 151—155. https://doi.org/10.1557/JMR.1994.0151

201. Barshilia H.C., Prakash M.S., Anjana J., Rajam K.S. Structure, hardness and thermal stability of TiAlN and nanolayered TiAlN/CrN multilayer films. Vacuum. 2005. Vol. 77. P. 169—179. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2004.08.020

202. Chen L., Holec D., Du Y., Mayrhofer P.H. Influence of Zr on structure, mechanical and thermal properties of Ti-Al-N. Thin Solid Films. 2011. Vol. 519. P. 5503—5510. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2011.03.139

203. Kravchenko Ya.O., Iatsunskyi I., Maksakova O.V., Natalich B.V., Dvornichenko A.V., Pogrebnjak A.D., Borysiuk V.N. Experimental and numerical study of multicomponent nitride coatings based on TiAlSiY fabricated by CA-PVD method. Materials Research Express. 2019. Vol. 6. P. 066406-8. https://doi.org/10.1088/2053-1591/ab0b17
204. Kanoun M.B., Goumri-Said S., Jaouen M. Structure and mechanical stability of molybdenum nitrides: a first-principles study. Physics Review B. 2007. Vol. 76. P. 134109. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.76.134109

205. Wang Y., Lin R.Y. Amorphous molybdenum nitride thin films prepared by reactive sputter deposition. Materials Science Engineering B. 2012. Vol. 112. P. 42—49. https://doi.org/10.1016/j.mseb.2004.05.010

206. Donohue L.A., Smith I.J., Munz W.-D., Petrov I., Greene J.E. Microstructure and oxidation-resistance of Ti1 − x − y − zAlxCryYzN layers grown by combined steered -arc/unbalanced-magnetron-sputter deposition. Surface and Coatings Technology. 1997. Vol. 94—95. P. 226—231. https://doi.org/10.1016/S0257-8972(97)00249-1

207. Smith I.J., Munz W.D., Donohue L.A., Petrov I., Greene J.E. Improved Ti1 – xAlxN PVD coatings for dry high speed cutting operations. Surface Engineering. 1998. Vol. 14. P. 37—42. https://doi.org/10.1179/sur.1998.14.1.37

208. Li M., Wang R., Fan Y., Wang L. Oxidation-resistance of (TiAlSiY)N coatings at 850 °C. Materials Research Innovations. 2015. Vol. 19. P. S8—190. https://doi.org/10.1179/1432891715Z.0000000001653
209. Beresnev V.M. et al. Structure and properties of vacuum arc single-layer and multiperiod two-layer nitride coatings based on Ti(Al):Si layers. Journal of Nano- and Electronic Physics. 2017. Vol. 9, No. 1. P. 01033. https://doi.org/10.21272/jnep.9(1).01033

210. Lin J., Moore J.J., Mishra B., Pinkas M., Sproul W.D. The structure and mechanical and tribological properties of TiBCN nanocomposite coatings. Acta Materials. 2010. Vol. 58. P. 1554—1564. https://doi.org/10.1016/j.actamat.2009.10.063
211. Johnson K.L. Contact Mechanics. Cambridge: Cambridge University Press, 2012. 452 p. https://doi.org/10.1017/CBO9781139171731
212. Pshyk A.V., Coy L.E., Nowaczyk G., Kempiński M., Peplińska B., Pogrebnjak A.D., Beresnev V.M., Jurga S. High temperature behavior of functional TiAlBSiN nanocomposite coatings. Surface and Coatings Technology. 2016. Vol. 305. P. 49—61. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2016.07.075

213. Nyemchenko U.S., Beresnev V.M., Sobol’ O.V., Lytovchenko S.V., Stolbovoy V.A., Novikov V.Ju., Meylekhov А.А., Postelnyk А.А., Kovaleva M.G. Structure and mechanical properties of nitride multi-layer systems on the basis of high entropy alloys and transition metals of group VI. Вопросы атомной науки и техники. 2016. № 1. P. 112—120.

214. Bagdasaryan A.A., Pshyk A.V., Coy L.E., Konarski P., Misnik M., Ivashchenko V.I., Kempiński M., Mediukh N.R., Pogrebnjak A.D., Beresnev V.M., Jurga S. A new type of (TiZrNbTaHf)N/MoN nanocomposite coating: Microstructure and properties depending on energy of incident ions. Composites. Part B: Engineering. 2018. Vol. 146. P. 132—144. https://doi.org/10.1016/j.compositesb.2018.04.015

215. Lukaszkowicz K., Dobrzański L.A., Zarychta A., Cunha L. Mechanical properties of multilayer coatings deposited by PVD techniques onto the brass substrate. Journal of Achievements in Materials and Manufacturing Engineering. 2006. Vol. 15, No. 1—2. P. 47—52.
216. Pogrebnjak O.D., Bondar O.V., Azarenkov M.A., Beresnev V.M., Sobol O.V., Erdybaeva N.K. Nanocoatings: technology of fabrication of nanostructure (nanocomposite) coatings with high physical and mechanical properties using C-PVD. In: CRC Concise Encyclopedia of Nanotechnology. CRC Press, 2015. P. 624—650. https://doi.org/10.1201/b19457
217. Sobol O.V., Andreev A.A., Gorban V.F., Krapivka N.A., Stolbovoi V.A., Serdyuk I.V., Fil’chikov V.E. Reproducibility of the single-phase structural state of the multielement high entropy Ti-V-Zr-Nb-Hf system and related superhard nitrides formed by the vacuum-arc method. Technical Physics Letters. 2012. Vol. 38, No. 7. P. 616—619. https://doi.org/10.1134/S1063785012070127

218. Pogrebnjak A.D., Beresnev V.M., Kolesnikov D.A. Multicomponent (Ti-Zr-Hf-V-Nb)N nanostructure coatings fabrication, high hardness and wear resistance. Acta Physics Polonica A. 2013. Vol. 123, No. 5. P. 816—820. https://doi.org/10.12693/APhysPolA.123.816

219. Azarenkov N.A., Beresnev V.M., Neymchenko U.S., Lytovchenko S.V. High entropy alloys based on nitredes of refractory metals — a new solution for protective coatings on the instruments working at high temperature. In: Nanomater.: Applicat. And Propert.: Proc. 4th Int. Conf. Lviv, 2014. Vol. 3, No. 1. P. 01FNC08.
220. Grigoriev S.N., Sobol O.V., Beresnev V.M., Serdyuk I.V., Pogrebnyak A.D., Kolesnikov D.A., Nemchenko U.S. Tribological characteristics of (TiZrHfVNbTa)N coatings applied using the vacuum arc deposition method. Journal of Friction and Wear. 2014. Vol. 35, No. 5. P. 359—364. https://doi.org/10.3103/S1068366614050067

221. Nyemchenko U.S., Beresnev V.M., Gorban V.F., Novikov V.Ju., Yaremenko O.V. Comparing the tribological properties of the coatings (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N and (Ti-Hf-Zr-V-Nb-Ta)N + DLC. Journal of Nano- and Electronic Physics. 2015. Vol. 7, No. 3. P. 03041.

222. Semenov A.P. Tribological properties and vacuum ion-plasma methods of application of diamond and diamond-like coatings. Journal of Friction and Wear. 2009. Vol. 30. No. 1. P. 62—75. https://doi.org/10.3103/S1068366609010115
223. Semenov A.P., Khrushchov M.M. Influence of environment and temperature on tribological behavior of diamond and diamond-like coatings. Journal of Friction and Wear. 2009. Vol. 31. No. 2. P. 142—158. https://doi.org/10.3103/S106836661002008X
224. Стрельницкий В.Е., Аксенов И.И. Пленки алмазоподобного углерода. Харьков: ИПП Контраст, 2016. 344 с.

225. Маслов А.И., Дмитриев Г.К., Чистяков Ю.Д. Импульсный источник углеродной плазмы для технологических целей. Приборы и техника эксперимента. 1985. № 3. C. 146—149.
226. Drescher D., Koskinen J., Scheibe H.-J., Mensch A. A model for particle growth in arc deposition amorphous carbon films. Diamond and Related Materials. 1998. No. 7. P. 1375—1378. https://doi.org/10.1016/S0925-9635(98)00211-8

227. Yeh J.W., Chen L., Lin S.J., Chen S.K. High-entropy alloys — a new era of exploitation. Materials Science Forum. 2007. Vol. 560. P. 1—9. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.560.1

228. Zhang Y., Zuo T.T., Zhi T., Gao M.C., Dahmen K.A., Liaw P.K., Lu Z.P. Microstructure and properties of high-entropy alloys. Progress in Materials Science. 2014. Vol. 61. P. 1—93. https://doi.org/10.1016/j.pmatsci.2013.10.001

229. Zhang Y., Zhou Y.J., JLin.P., Chen G.L., Liaw P.K. Solid-solution phase formation rules for multi-component alloys. Advanced Engineering Materials. 2008. Vol. 10, No. 6, P. 534—538. https://doi.org/10.1002/adem.200700240
230. Mandl F. Statistical Physics. Hoboken: John Wiley and Sons, 1988. 416 p.
231. Stoloff N.S., S ikka V.K. Physical metallurgy and processing of intermetallic compounds. Luxemburg: Springer Nature, 1996. 684 р. https://doi.org/10.1007/978-1-4613-1215-4

232. Paxton A.T., Methfessel M., Pettifor D.G. A bandstructure view of the Hume-Rot-hery electron phases. Proceedings of the Royal Society. 1997. Vol. 453. No. 1962. P. 1493—1514. https://doi.org/10.1098/rspa.1997.0080

233. Yeh J.-W., Chen S.-K., Lin S.-J., Gan J.-Y., Chin T.-S., Shun T.-T., Tsau C.-H., Chang S.-Y. Nanostructured high-entropy alloys with multiple principal elements: novel alloy design concepts and outcomes. Advanced Engineering Materials. 2004. Vol. 6. P. 299—303. https://doi.org/10.1002/adem.200300567
234. Wu W-H., Yang C.-C., Yeh J.-W. Industrial development of high-entropy alloys. Annales de Chimie — Science des Materiaux. 2006. Vol. 31. P. 737 —747.
     https://doi.org/10.3166/acsm.31.737-747
235. Юм-Розери У. Введение в физическое металловедение. Москва: Металлургия, 1965. 204 p.
236. Miracle D.B., Miller J.D., Senkov O.N., Woodward C., Uchic M.D., Tiley J. Exploration and development of high entropy alloys for structural applications. Entropy. 2013. Vol. 16. P. 494—525. https://doi.org/10.3390/e16010494

237. Hume-Rothery W. Elements of structural metallurgy. London: Royaume-Uni de Grande-Bretagne et d’Irlande du Nord, Institute of metals, 1961. 174 р.

238. Mizutani U. Hume-Rothery rules for structurally complex alloy phases. Boca Raton: Taylor and Francis Group, 2011. 46 p. https://doi.org/10.1201/b10324
239. Guo S., Ng C., Lu J., Liu C. T. Effect of valence electron concentration on stability of fcc or bcc phase in high entropy alloys. Journal of Applied Physics. 2011. Vol. 109. P. 103505. https://doi.org/10.1063/1.3587228
240. Poletti M.G., Battezzati L. Electronic and thermodynamic criteria for the occurrence of high entropy alloys in metallic systems. Acta Materials. 2014. Vol. 75. P. 297—306. https://doi.org/10.1016/j.actamat.2014.04.033

241. Hsueh H.-T., Shen W.-J., Tsai M.-H., Yeh J.-W. Effect of nitrogen content and substrate bias on mechanical and corrosion properties of high-entropy films (AlCrSiTiZr)100 − xNx. Surface and Coatings Technology. 2012. Vol. 206. P. 4106—4112. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.03.096

242. Tsai M.H., Lai C.H., Yeh J.W., Gan J.Y. Effects of nitrogen flow ratio on the structure and properties of reactively sputtered (AlMoNbSiTaTiVZr)Nx coatings. Journal of Physics D. 2008. Vol. 41, No. 23. P. 235402. https://doi.org/10.1088/0022-3727/41/23/235402

243. Chen T.K., Wong M.S., Shun T T., Yeh J.W. Nanostructured nitride films of multi-element high-entropy alloys by reactive DC sputtering. Surface and Coatings Technology. 2005. Vol. 200. P. 1361—1365. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.08.023
244. Lin C.H., Duh J.G., Yeh J.W. Multi-component nitride coatings derived from Ti–Al–Cr–Si–V target in RF magnetron sputter. Surface and Coatings Technology. 2007. Vol. 201. P. 6304—6308. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.11.041
245. Lai C.-H., Tsai M.-H., Lin S.-J., Yeh J.-W. Influence of substrate temperature on structure and mechanical, properties of multi-element (AlCrTaTiZr)N coatings. Surface and Coatings Technology. 2007. Vol. 1. P. 6993—6998. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2007.01.001
246. Азаренков Н.А., Береснев В.М., Торяник И.Н. Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB2-TiSi2, получение и свойства. Вопросы атомной науки и техники. 2013. № 2. С. 144—147.
247. Torianik I.N. et al. Magnetron sputtering of high temperature composite ceramics AlN-TiB2-TiSi2. Journal of Surface Science and Engineering. 2013. Vol. 11, No. 3. P. 299-303.
248. Самсонов Г.В., Винницкий И.М. Тугоплавкие соединения: справочник. Москва: Металлургия, 1976. 560 с.

249. Самсонов Г.В., Дворина Л.А., Рудь П.В. Силициды. Москва: Металлургия, 1979. 272 с.

250. Pogrebnyak A.D., Kravchenko Y.A., Dem’yanenko A.A., Sobol’ O.V., Beresnev V.M., Pshik A.V. Peculiarities of the formation of multicomponent AlN-TiB2-TiSi2 composite ceramics coatings during heat treatment. Physics of Metals and Metallography. 2015. Vol. 116. P. 576—585. https://doi.org/10.1134/S0031918X15040122

251. Pshyk A.V., Coy L.E., Yate L., Załęski K., Nowaczyk G., Pogrebnjak A.D., Jurga S. Combined reactive/non-reactive DC magnetron sputtering of high temperature composite AlN–TiB2–TiSi2 . Materials and Design. 2016. Vol. 94. P. 230—239. https://doi.org/10.1016/j.matdes.2015.12.174

252. Горбань В.Ф., Мамека Н.А., Печковский Э.П., Фирстов С.А. Идентификация структурного состояния материалов методом автоматического индентирования. Харьковская нанотехнологическая ассамблея: сб. докл. Харьков: ННЦ ХФТИ, ИПП Контраст, 2007. С. 52—55.

253. Lavrenko V.A., Desmaison J., Panasyuk A.D., Desmaison-Brut M. Oxidation resistance of AlN-(TiB2-TiSi2) ceramics in air up to 1450 °C. Journal of the European Ceramic Society. 2003. Vol. 23. P. 357—369. https://doi.org/10.1016/S0955-2219(02)00181-4

254. Huang P.-K., Yeh J.-W. Effects of nitrogen content on structure and mechanical properties of multi-element (AlCrNbSiTiV)N coating. Surface and Coatings Technology. 2009. Vol. 203. P. 1891—1896. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2009.01.016
255. Huang P.-K, Yeh J.-W. Effects of substrate temperature and post-annealing on microstructure and properties of (AlCrNbSiTiV)N coatings. Thin Solid Films. 2009. Vol. 518. P. 180—184. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.06.020
256. Braic V., Vladescu A., Balaceanu M., Luculescu C.R., Braic M. Nanostructured multi-element (TiZrNbHfTa)N and (TiZrNbHfTa)C hard coatings. Surface and Coatings Technology. 2011. Vol. 211, No. 25. P. 117—121. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.09.033
257. Braic V., Balaceanu M., Braic M., Vladescu A., Panseri S., Russo A. Characterization of multi-principal-element (TiZrNbHfTa)N and (TiZrNbHfTa)C coatings for biomedical applications. Journal of the Mechanical Behavior of Biomedical Materials. 2012. Vol. 10. P. 197—205. https://doi.org/10.1016/j.jmbbm.2012.02.020
258. Cheng K.-H., Lai C.-H., Lin S.-J., Yeh J.-W. Structural and mechanical properties of multi-element (AlCrMoTaTiZr)Nx coatings by reactive magnetron sputtering. Thin Solid Films. 2011. Vol. 519. P. 3185—3190. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2010.11.034

259. Cheng K.-H., Weng C.-H., Lai C.-H., Lin S.-J. Study on adhesion and wear resistance of multi-element (AlCrTaTiZr)N coatings. Thin Solid Films. 2009. Vol. 517. P. 4989-4993. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.03.139
260. Болгар А.С., Литвиненко В.Ф. Термодинамические свойства нитридов. Киев: Наукова думка, 1980. 284 с.
261. Немченко У.С. Закономірності формування вакуумно-дугових нітридних покриттів на основі високоентропійних сплавів: автореф. дис. … канд. фіз.-мат.наук: 01.04.07. Харків, 2016. 20 с.
262. Багдасарян А.А. Структурно-фазовое состояние и физико-механические свойства нитридных покрытий на основе Ti, Hf, Zr, V и Nb: дис. … канд. фіз.-мат.наук: 01.04.07. Суми, 2015. 140 с.

263. Toryanik I.N.et al. Structure and physical and mechanical properties o nanocomposite coatings of the system (Zr-Ti-Cr-Nb)N, obtained by vacuum-arc evaporation method. Problems of Atomic Science and Technology. 2014. No. 6. P. 86—92.

264. Nyemchenko U.S., Novikov Ju V., Sobol’ O.V., Grankin S.S., Tulibiyev E.M., Radko A. Tribotechnical characteristics of multielement coatings based on nitrides of Ti, Zr, Cr, Nb, Si, obtained by means of vacuum-arc deposition method. Journal of Nanoand Electronic Physics. 2015. Vol. 7, No. 1. Р. 01041.

265. Азаренков Н.А., Соболь О.В., Погребняк А.Д., Береснев В.М. Инженерия вакуумно-плазменных покрытий. Харьков: ХНУ имени В.Н. Каразина, 2011. 344 с.
266. Beresnev V.M., Sobol O.V., Toryanik I.N., Meylekhov A.A., Nyemchenko U.S., Turbin P.V., Yakushchenko I.V., Lisovenko M.O. Formation of biphasic state in vacuum-arc coatings obtained by evaporation of Ti-Al-Zr-Nb-Y alloy in the atmosphere of nitrogen. Journal of Nano- and Electronic Physics. 2014. Vol. 6, No. 1. P. 01030.
267. Pogrebnjak A.D., Yakushchenko I.V., Sobol’ O.V., Beresnev V.M., Kupchishin A.I., Bondar O.V., Lisovenko M.A., Amekura H., Kono K., Oyoshi K., Takeda Y. Influence of residual pressure and ion implantation on the structure, elemental composition, and properties of (TiZrAlYNb)N nitrides. Technical Physics. 2015. Vol. 60. P. 1176-1183. https://doi.org/10.1134/S1063784215080228

268. Beresnev V.М., Sobol’ О.V., Nyemchenko U.S., Lytovchenko S.V., Gorban’ G.F., Stobovoy V.А., Kolesnikov D.А., Meyl ekhov А.А., Postelnyk А.А., Novikov V.Yu. The influence of nitrogen pressure on the structure of condensates, obtained at vacuum arc deposition from high entropy alloy AlCrTiZrNbY. Problems of Atomic Science and Technology. 2016. No. 2. P. 83—86.

269. Pogrebnjak A.D., Yakushchenko I.V., Bagdasaryan A.A., Bondar O.V., Krause-Rehberg R., Abadias G., Chartier P., Oyoshi K., Takeda Y., Beresnev V.M., Sobol O.V. Microstructure, physical and chemical properties of nanostructured (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N coatings under different deposition conditions. Materials Chemistry and Physics. 2014. Vol. 147, No. 3. P. 1079—1091. https://doi.org/10.1016/j.matchemphys. 2014.06.062
270. Pogrebnjak A.D., Yakushchenko I.V., Bondar O.V., Sobol’ O.V., Beresnev V.M., Oyoshi K., Amekura H., Takeda Y. Influence of implantation of Au-ions on the microstructure and mechanical properties of the nanostructured multielement (TiZrHfVNbTa)N coating. Physics Solid State. 2015. Vol. 57, No. 8. P. 1559—1564. https://doi.org/10.1134/S1063783415080259

271. Nyemchenko U.S., Novikov V.Yu., Grankin S.S., Ganenko V.V., Arseenko M.Yu., Sobol O.V., Tkach O.P., Kovaleva M.G., Malikov L.V. Аdhesion strength of multi element coating sof the system (TiZrHfVNbTa). Journal of Nano- and Electronic Physics. 2015. Vol. 7, No. 2. P. 02040.

272. Neymchenko U.S., Novikov V.Ju., Stolbovoy V.A., Beresnev V.M., Sobol’ O.V. Frictional properties of multielement coatings (TiZrHfVNbTa)N. Problems of Atomic Science and Technology. 2015. No. 2. P. 139—144.

273. Pogrebnjak A.D. Yakushchenko I.V., Bondar O.V., Beresnev V.M., Oyoshi K., Ivasishin O.M., Amekura H., Takeda Y., Opielak M., Kozak C. Irradiation resistance, microstructure and mechanical properties of nanostructured (TiZrHfVNb Ta)N coatings. Journal of Alloys and Compounds. 2016. Vol. 679. P. 155—163. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2016.04.064

274. Li W/, Liu P., Liaw P.K. Microstructures and properties of high-entropy alloy films and coatings: a review. Materials Research Letters. 2018. Vol. 6, No. 4. P. 199—229. https://doi.org/10.1080/21663831.2018.1434248

275. Sharma A. High entropy alloy coatings and technology. Coatings. 2021. Vol. 11, No. 4. P. 372. https://doi.org/10.3390/coatings11040372
276. El Garan M, Driss S., Frederic S. Reviev on mechanical and functional properties of refractory high-entropy alloy films by magnetron sputtering. Emergent Materials. 2024. Vol. 7. P. 77—101. https://doi.org/10.1007/s42247-023-00607-8
277. Chang H.W., Huang P.-K., Davison A., Yeh J.-W., Tsau C.-H., Yang C.-C. Nitride films deposited from an equimolar Al–Cr–Mo–Si–Ti alloy target by reactive direct current magnetron sputtering. Thin Solid Films. 2008. Vol. 516. P. 6402—6408. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.01.019
278. Senkov O.N., Scott J.M., Senkova S.V., Miracle D.B., Woodward C.F. Microstructure and room temperature properties of a high-entropy TaNbHfZrTi alloy. Journal of Alloys and Compounds. 2011. Vol. 509. P. 6043—6048. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2011.02.171
279. Senkov O.N., Scott J.M., Senkova S.V., Meisenkothen F., Miracle D.B., Woodward C.F. Microstructure and elevated temperature properties of a refractory TaNbHfZrTi alloy. Journal of Materials Science. 2012. Vol. 47. P. 4062—4074. https://doi.org/10.1007/s10853-012-6260-2

280. Chang S.-Y, Lin S.-Y., Huang Y.-C., Wu C.-L. Mechanical properties, deformation behaviors and interface adhesion of (AlCrTaTiZr)Nx multi-component coatings. Surface and Coatings Technology. 2010. Vol. 204. P. 3307—3314. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2010.03.041
281. Liang S.-C., Chang Z.-C., Tsai D.-C., Linb Y.-C., Sung H.-S., Denga M.-J., Shieu F.-S. Effects of substrate temperature on the structure and mechanical properties of (TiVCrZrHf)N coatings. Appliad Surface Science. 2011. Vol. 257. P. 7709—7713. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2011.04.014

282. Lee C.-T., Cho W.-H., Shiao M.-H., Hsiao C.-N., Tang K.-S., Jaing C .-C. Effects of DC bias on the microstructure, residual stress and hardness properties of TiVCrZrTaN films by reactive RF magnetron sputtering. Process Engineering. 2012. Vol. 36. P. 316—321. https://doi.org/10.1016/j.proeng.2012.03.046
283. Ren B., Shen Z., Liu Z. Structure and mechanical properties of multi-element (AlCrMnMoNiZr)Nx coatings by reactive magnetron sputtering. Journal of Alloys and Compounds. 2013. Vol. 560. P. 171—176. https://doi.org/10.1016/j.jallcom. 2013.01.148

284. Ren B., Liu Z, Shi L., Cai B., Wang M.X. Structure and properties of (AlCrMnMoNiZrB0.1) Nx coatings prepared by reactive DC sputtering. Applied Surface Scitnce. 2011. Vol. 257. P. 7172—7178. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2011.03.083
285. Chang Z.-C., Liang S.-C., Han S. Effect of microstructure on the nanomechanical properties of TiVCrZrAl nitride films deposited by magnetron sputtering. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2011. Vol. 269. P. 1973—1976. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2011.05.027
286. Beresnev V.M., Shabelnyk Yu.M., Shumakova N.I., Nyemchenko U.S., Klymenko S.А., Manokhin А.S. Regularity of formation of vacuum-arc nitride coating based on multi-component alloys. Journal of Nano- and Electronic Physics. 2017. Vol. 9, No. 4. P. 04023. https://doi.org/10.21272/jnep.9(4).04023
287. Верещака А.С., Верещака А.А., Бубликов Ю.И., Оганян М.Г. Наноразмерные многослойно-композиционные покрытия для повышения износостойкости и работоспособности твердосплавных концевых фрез. Резание и инструменты в технологических системах. 2014. Вып. 84. С. 26—42.

288. Патент України № 96908. Різальний інструмент з двошаровим нанокристалічним покриттям. Заявл. 05.04.2011; опубл. 12.12.2011, бюл. 23.
289. Инструменты из сверхтвердых материалов. Под. ред. Н.В. Новикова, С.А. Клименко. Москва: Машиностроение, 2014. 608 с.
290. Манохін А.С., Клименко С.А., Берєснев В.М., Столбовой В.О., Клименко С.А., Мельнійчук Ю.О., Найденко А.Г., Рижов Ю.Е., Depu L., Hongshun W. Інтенсивність зношування різальних інструментів, оснащених PcBN із наношаровими захисними покриттями. Надтверді матеріали. 2020. № 6. С. 74—84. https://doi.org/10.3103/S1063457620060076

291. Патент України на корисну модель № 86915. Різальний інструмент з покриттям. Заявл. 13.08.2013; опубл. 10.01.2014, бюл. № 1.
292. Klimenko S.A., Podchernjaeva I.A., Beresnev V.M., Panashenko V.M., Klimenko S.An., Kopeikina M.Yu. AlN-(TiCr)B2 ion-plasma coating for cutting tools of cBN-based polycrystalline superhard material. Journal of Superhard Materials. 2014. Vol. 36, No. 3. P. 208—216. https://doi.org/10.3103/S1063457614030095
293. Podchernyaeva I.A., Klimenko S.A., Beresnev V.M., Panashenko V.M., Toryanik I.N., Klimenko S.An., Kopeikina M.Yu. Formation of a Tribofilm in the Surface Layer of Al–Ti–Cr–N–B Magnetron Coating on Boron Nitride During Turning of Hardened Steel. Powder Metallurgy and Metal Ceramics. 2015. Vol. 54, No. 3—4. P. 140—150. https://doi.org/10.1007/s11106-015-9691-x
294. Бережной А.С. Многокомпонентные системы оксидов. Киев: Наукова думка, 540 с.
295. Kopeikina M.Yu., Klimenko S.A., Mel’niichuk Yu.A., Beresnev V.M. Efficiency of cutting tools equipped with cBN-based polycrystalline superhard materials having vacuum–plasma coating. Journal of Superhard Materials. 2008. Vol. 30, No. 5. Р. 355—362. https://doi.org/10.3103/S1063457608050110

296. Клименко С.А., Береснев В.М., Копейкина М.Ю., Гриценко В.И. Слоистые вакуумно-дуговые покрытия Ti-NbN-Al2O3, Nb-NbN-Al2O3 на инструментах, оснащенных поликристаллическими сверхтвердыми материалами на основе кубического нитрида бора. Физическая инженерия поверхности. 2007. Т. 5, № 1—2. C. 57—61.
297. Манохін A.C. та ін. Знос інструментів з PcBN із покриттями (TiAlSiY)N, Mo2N/CrN. Сучасні технології в машинобудуванні. 2018. Вип. 13. С. 33—41.

298. Манохин А.С. и др. Влияние подготовки режущих пластин из PсBN под напыление на адгезионную прочность в системе «покрытие-основа» и эксплуатационные характеристики инструмента. Високі технології в машинобудуванні. 2018. № 1. С. 98-109.
299. Манохін А.С., Клименко С.А., Береснєв В.М., Клименко С.Ан., Копєйкіна М.Ю., Столбовий В.О., Литовченко С.В. Різальні інструменти з композитів на основі кубічного нітриду бору з покриттям. Київ: Наукова думка, 2023. 173 c. https://doi.org/10.15407/978-966-00-1844-0